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四氟化硅是一种重要的特种气体,应用前景广阔。详细介绍了四氟化硅的性质、应用、制备方法及纯化方法,指出了每种制备方法及纯化方法的优缺点,并指明了后续的研究方向。
Abstract：Silicon tetrafluoride is an important special gas with broad application prospect. In this paper, the properties,application, preparation and purification methods of silicon tetrafluoride were introduced in detail. The advantages and disadvantages of each method were pointed out. The following research direction was put forward.
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基本信息:
DOI：10.13840/j.cnki.cn21-1457/tq.2019.04.038
中图分类号:TQ127.2
引用信息:
[1]黄华璠,张浩,岳立平,等.四氟化硅的制备与纯化[J].当代化工,2019,48(04):808-811.DOI:10.13840/j.cnki.cn21-1457/tq.2019.04.038.
基金信息:
国家科技重大专项,项目号:2013ZX02401103
2019-04-28
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